APX300
Découpage plasma sans particules, sans dommages, à haut rendement.
Description
Tableau des spécifications
| Dimensions (mm) | [Manipulation de la plaquette de verrouillage de chargement] W 1350 x D 2230 x H 2000 (Exclure le panneau tactile, la section d’exploitation et la tour de signalisation) [Manipulation de la plaquette de verrouillage de chargement] W 1375 x D 2600 x H 2000 (Exclure le panneau tactile, la section d’exploitation et la tour de signalisation) W 1350 × D 2230 × H 2000 mm (système à chambre unique (type d’unité de transfert optionnelle) *L’unité de transfert (optionnelle) est du type alimentation à verrouillage sous vide utilisant des cassettes dédiées. |
|---|---|
| Source de plasma | ICP Plasma |
| Gaz de procédé | 4 lignes (standard) (maximum 6 lignes : gaz fluoré, Ar, O2, He, etc.) |
| Taille de la plaquette | φ200 mm (standard), ou φ300 mm (avec cadre en anneau) * Pour d’autres tailles de plaquettes, veuillez nous contacter. |
| Masse (poids) | 2 330 kg (cela varie selon la configuration de la machine) |
| Source d’alimentation | AC triphasé 200 / 208 / 220 / 230 / 240 ±10 V, 50 / 60 Hz, 21,0 kVA * Source d’alimentation 2 lignes 3phasée, et cela montre le total. Les dispositifs périphériques, tels que la pompe sèche et le refroidisseur, ne sont pas inclus. |
| Source pneumatique | 0,5 MPa ~ 0,7 MPa, 250 L/min (A.N.R.) |
| N2 Source | 0,1 MPa ~ 0,2 MPa, 50 L/min (A.N.R.) |