PSX307
Nettoyage plasma utilisant la technologie de nettoyage plasma à plaques parallèles.
Description
Principales caractéristiques
| Vitesse - jusqu’à 360 substrats/bandes par heure |
| Haute productivité - traitement en ligne pour améliorer le collage, le surmoulage et le sous-remplissage |
| Nettoyage uniforme par plasma parallèle |
| Fonctionnalité de traçabilité |
| Ar, O2 ou plasma mixte de gaz possible |